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对洁净室空气洁净度提出四大新要求

发布时间:2017-06-29 阅读:0

  以“创新绿色发展·激发市场活力”为主题的“2015中国国际洁净技术与设备展览会”将于2015年8月18日-20日在广州·中国进出口商品交易会展馆隆重举办。预计展览面积达一万余平方米,参展商更是超过300家。届时将展示当今国际领先的洁净技术、顶尖的技术支持以及尖端的产品设备,以满足全球消费以及新兴材料和技术应用产业提出的新要求。众所周知,洁净室环境的控制与空气的洁净度有密切关系,下面就来看看洁净室对空气洁净度的要求。

  随着现代工业的发展,对实验、研究和生产的环境要求越来越高,因而调节空气品质的技术——空气调节技术的内容也随之逐步扩大。现代空调技术不仅包含调节空气的温度、湿度和速度的概念,而且还包含了调节其洁净度、压力以及成分、气味的概念。

  现代化的科学实验和生产活动对空气洁净度的要求是从下述四方面提出来的:

  1、加工的精密化。

  现代产品的加工精度已经进入亚微米量级,而且正在向更小的量级发展:利用分子束外延技术已可按一个一个原子层来生长单晶材料;利用离子束刻蚀技术也可以对半导体材料进行一个一个原子的刻蚀剥离等等。因此,科学界提出了在本世纪末可能进行原子级加工的设想,即加工的几何图形宽度可以小到几个原子的线度。

  2、产品的微型化。

  原来体积为几千立方厘米的电子装配件,现在缩减到零点几立方厘米,其中:集成电镀的图形距已小到不足1um,一个电子元件的二氧化硅保护膜厚0.5um,光致抗蚀剂厚度只有0.2um,而各层甚至只有0.03um。

  3、产品的高纯度(或高质量)。

  由过去认为很纯的“化学纯”进入今天“电子纯”、“超纯”时代的药品、试剂,以及各种超纯材料,都是在高纯度基础上才能使原料充分发挥其固有特性或者呈现出新的特性。

  4、产品的高可靠性。

  高可靠性对于电子化、自动化时代的产品,对于确保人的安全的无菌操作,对于分子生物学的遗传工程都有特殊重要的意义。

  显然,在上述四种情况下,如果有微粒进入产品,这种微粒就可能构成障碍、短路、杂质源和潜在缺陷。上述四种要求越高,则允许存在于环境空气中的微粒数量越少,也就是洁净程度越高。因此,洁净技术已成为科学实验和生产活动现代化的标志之一。同时也是保证精密产品质量的重要手段。


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