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发布时间：2022-11-15 阅读：0次
洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压差、噪声等参数都需要进行控制的密闭空间。许多精密加工行业、半导体、芯片、医学手术室、电子设备、航天、制药、生物实验室行业等都需要洁净室。比如医学行业主要是为了防止病jun、细jun、灰尘对病人手术过程中造成感染；温湿度对于精密仪器仪表产品的精确程度有很大影响。
半导体制造洁净室对温湿度的要求一般是温度处于22-28℃ ，湿度在30-50 RH（%）之间。洁净室运作过程中对相对湿度环境控制尤为常见。因为相对湿度会对洁净室总体表现下降有较大影响，比如加速细jun繁殖；人体舒适感不佳，人的汗液可能污染半导体产品；出现静电荷；加快金属fu蚀生锈；水汽冷凝污染半导体表面的清洁度；光刻的退化；影响光刻胶附着能力等。
因此，对于半导体洁净室的温湿度控制尤为重要。现在的半导体洁净室系统都会严格控制温湿度、空气洁净度和压差程度等，在室内安装不同的温湿度传感器、压差传感器等，做到实时监测、实时控制。苏州宏瑞净化研发生产的温湿度变送器传感器、手持式温湿度仪、压差计等产品应用于各种生物实验室、制药车间、洁净室的温湿度监测。
不同的洁净室对于温湿度的要求是不同的，主要是根据加工使用的产品本身的特性来考量。但是有一点，温湿度不管在任何行业，作为一个环境因素发挥着重要的影响力。我们总是运用各种手段进行温湿度数据监控，以便达到我们的理想状态。
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